广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵

安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高可靠性的同时，还能做到更经济。

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安捷伦真空近年来陆续发布了多个型号的 TwisTorr 分子泵，该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空（参考文章：安捷伦TwisTorr超高真空涡轮分子泵特点介绍）。近日，针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用，安捷伦真空又发布了 TwisTorr 305 Q 系列分子泵。

抽速、压缩比等性能参数是分子泵设计之初就要首先考虑的，也是各项设计调整优化的重要目标。产品定型时，安捷伦对外发布的各项参数和曲线，比如下图的抽速和压缩比曲线，都来自于这些测试的结果。这些测试都有相关的资质，在此不再展开描述。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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阻尼减振器：为了进一步减小分子泵振动对电子显微镜等高灵敏度分析仪器的影响，安捷伦真空专门开发了一款阻尼减震器，该减震器可以将涡轮分子泵在满转速时的振动减小到原来的1/40左右（CF法兰）。

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为了减少轴承因长期存放而造成的分布不均匀，安捷伦的分子泵控制器内置了“软启动”功能。如经过运输或者停泵的时间超过 2 个月，可以使用软启动功能启动分子泵，转速以阶梯方式缓慢加速，使得轴承润滑脂在低速阶段有充分时间重新均匀分布。如果存放时间超过 10 个月，建议送回维修中心，让分子泵在检测平台上按照既定程序加速（Re-channeling），磨合轴承。

安捷伦的分子泵设计是免日常维护的。由于工艺环境差异，分子泵的工作寿命差别很大，但是如果分子泵已经工作了很长时间（5年以上），或者出现了噪音、温度、功率异常，及时的对其进行维护保养可以大大延长其使用寿命。

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安捷伦分子泵采用了新的悬浮技术AFS，悬浮转子，能够有限改善震动。AFS提供了超高精度，确保了轴承对准。同时径向静止设计，极大优化转子运动形态和降低噪音。安捷伦提供从TV84FS，TV304FS，TV551，TV701，TV1001，TV2300，TV3KG等不同抽速大小的分子泵，以满足客户不同的应用需求。

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安捷伦分子泵采用新的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。新的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度好的干泵